島津製作所 ＥＬディスプレイ用 透明膜成膜技術を開発 素子にダメージを与えることなく成膜することができ、有機ＥＬディスプレイの製造に適用可能。バリア膜の形成には有機材に有機化合物と無機化合物による積層膜を重ねる方法などがあるが、同技術では無機化合物のみで成膜できるため、複雑なプロセスを必要とせず、かつ低コストで優れたバリア膜を成膜することができる。 http://www.gomutimes.co.jp/kiji/1012/1211/101211simazu.html